Аберрации электронных линз, называют погрешности искажения электронно-оптических изображений, возникающие вследствие разброса частиц по энергиям в пучке, наличия тепловых скоростей, дифракции частиц, а также из-за эффектов пространственного заряда. Классификацию аберраций электронных линз более подробно смотрите в статье «Электронная и ионная оптика». Аберрациями обладают электронные зеркала. Смотрите статью «Электронная оптика», «Электронные линзы».